Waarom sputteren van doelkwaliteit belangrijk is
Sputterdoelen met een hoge-zuiverheid zijn belangrijke bronmaterialen voor fysieke dampafzetting. Bij halfgeleider-, optische coating-, decoratieve coating-, gereedschapscoating- en onderzoekstoepassingen heeft het doelwit rechtstreeks invloed op de filmsamenstelling, de deeltjesprestaties en de afzettingsstabiliteit.
Sputtertrefplaten met hoge-zuiverheid worden gebruikt als bronmateriaal voor PVD- en magnetronsputteren.
Factoren die de filmstabiliteit beïnvloeden
Verschillende materiaal- en verwerkingsfactoren kunnen de sputterprestaties beïnvloeden. Zuiverheid bepaalt het onzuiverheidsniveau van de afgezette film. De dichtheid beïnvloedt de plasmastabiliteit en de levensduur van het doelwit. Korrelgrootte en microstructuur beïnvloeden het erosiegedrag. Oppervlakteafwerking en reinigingscontrole helpen deeltjes te verminderen voordat het doel de coatingkamer binnengaat.
Specificatiechecklist voor kopers
- Materiaal en zuiverheid: doelwit van titanium, zirkonium, nikkel, wolfraam, molybdeen, tantaal, niobium of legering
- Vorm en maat: rond, rechthoekig, vlak of op maat getekend
- Achterplaat en verlijming: bevestig of verlijmingservice vereist is
- Oppervlakteafwerking: machinaal bewerkt, gepolijst, gereinigd en vacuüm verpakt
- Inspectie: samenstelling, dichtheid, afmeting en visuele oppervlaktecontrole
Doelgeometrie, dichtheid en oppervlakteafwerking beïnvloeden de afzettingsstabiliteit en doelgebruik.
Wanneer moet u aangepaste doelen aanvragen?
Aangepaste doelen worden aanbevolen wanneer de coatingapparatuur een speciaal klemontwerp, koelingsvereisten, magnetronindeling of verbindingsstructuur heeft. Kopers moeten tekeningen, doeldikte, toleranties, positie van het schroefgat, materiaal van de achterplaat en werkvermogen verstrekken, indien beschikbaar.
CLJZ Metaalleveringscapaciteit
Shaanxi Changlong Jiuzhou Metal Technology levert hoog-zuivere metaalgrondstoffen en sputterdoelen, waaronder producten van titanium, zirkonium, nikkel, wolfraam, molybdeen, tantaal en niobium. Het bedrijf kan proefbestellingen, aangepaste bewerkingen, exportverpakkingen en technische communicatie vóór de offerte ondersteunen.